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打造台灣3奈米關鍵材料基地 這集團強攻半導體最先進製程

2023-05-21
根據《財訊》報導,1990年代,長春集團就在人家常說的「風頭水尾」彰濱海岸溼地北段所規畫的工業區,最早以每坪兩萬多元陸續購入5塊土地。如今,這占地62公頃的大片土地,面積比亞利桑那州廠和麥寮廠都大上近一倍,已斥資逾4百億元蓋起「3奈米電子級化學品重鎮」。

2022年底台積電位於南科18廠的3奈米製程正式啟動量產之前,長春集團旗下長春石化彰濱二廠先一步於2021年完工,2022年開始供應台積電3奈米電子級化學品,同年即成為唯一一家榮獲「供應商環安衛楷模獎」的供應鏈廠商。

超前部署 滿足台積電需求

在長春集團總裁林書鴻帶隊之下,《財訊》獨家進入從未對外曝光的長春彰濱二廠,這裡專攻全球最先進的半導體化學品,也是現今長春在全球大發、苗栗、常熟、揚州、福建漳州之外,第6處電子級化學品廠區;第7處廠區位於美國亞利桑那州,預計在明年投產。

林書鴻帶著《財訊》採訪團隊,走進高純度雙氧水、電子級雙氧水、顯影劑、PME(電子級丙二醇甲醚)、PAE(電子級丙二醇甲醚醋酸酯)、稀釋劑等電子級化學品廠房參訪。

為了供應3奈米製程所需的電子級化學品,長春在彰濱廠砸了大錢投資。首先是數位化系統,不僅監控中心可以顯示廠區內各廠房的監控畫面與關鍵數據,透過攝影機與氣體偵測機等設備,可以運用最節省的廠區人力,實現強化管理。「彰濱廠數據做得比較完整。」長春集團最高顧問蘇士光不諱言,彰濱是新廠,因此規畫都採取最高標準。

《財訊》報導指出,其二是先進實驗室,採購每台要價高達2千萬元的質譜儀,用於金屬分析,光是在彰濱廠的實驗室就有多達5台;還有氣相層析儀、原子吸收光譜儀數十台。

第三則是與無塵室產線直接連結的油罐車隊。「3奈米製程的電子級化學品純度已經要求達到兆分之一。」蘇士光指出,所以過去油罐車是在廠房外灌充電子級化學品;現在則是無塵室產線投產完後,油罐車直接開進可直接連結無塵室產線的車庫,直接灌充,降低雜質摻入汙染產品的機率。

《財訊》也發現,目前長春在全台灣有超過6百輛國際罐式貨櫃(Iso TANK),而且每一輛油罐車的外部還有監測儀顯示溫度、壓力與油量,但只有苗栗廠、彰濱廠區有油罐車與無塵室直接連結的設置。
 

中時新聞網/ 編輯、 邱怡萱 /文、財訊雙週刊、林苑卿

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